Carboneto de silício verde Micron para polimento de material PZT

O mícron de carboneto de silício verde é um tipo de abrasivo não metálico com alta dureza e alta resistência mecânica. Pode fazer uma moagem agressiva. O carbeto de silício verde tem grandes vantagens para a retificação de materiais PZT ( cerâmica piezoelétrica ).

O PZT é um material cerâmico funcional que converte energia mecânica e energia elétrica entre si. Eles são amplamente utilizados em óptica, semicondutores, instrumentos e outros campos. No entanto, as cerâmicas são frágeis e difíceis de serem processadas por piezoeletricidade. No estágio posterior de tratamento de superfície da cerâmica PTZ, a máquina de polimento de dupla face é usada para moer e polir o wafer PZT. Geralmente, o tratamento de superfície do PZT, como rugosidade e retificação graduada, é realizado com carboneto de silício verde de 50 mícrons, 40 mícrons, 20 mícrons e 14 mícrons.. Após a rugosidade, a superfície do wafer é uniforme sem arranhões e a rugosidade pode chegar a 1,2-1,5um. Na etapa de polimento fino e moagem fina, corindo branco de 14 mícrons, 7 mícrons e pós de 5 mícrons são selecionados para moagem fina. A rugosidade do produto após o polimento é inferior a 50nm.

A fim de alcançar o efeito de moagem de polimento sem arranhão, o tamanho de partícula do abrasivo de carbeto de silício verde precisa ser estritamente controlado. Nesta situação, o tamanho de partícula deve ser o mesmo possível e a faixa de tamanho de partícula deve ser estreita. Se houver partículas grandes, é fácil danificar a superfície cerâmica. Se houver muitas partículas finas, reduzirá a eficiência de moagem. Portanto, o pó de carboneto de silício verde classificado por transbordamento de lavagem com água é o abrasivo apropriado.