Pó preto SiC 800 # para equipamentos semicondutores – cerâmica porosa de carboneto de silício
Em equipamentos de produção de semicondutores, componentes cerâmicos de alto desempenho são essenciais. Especialmente as cerâmicas de carboneto de silício são componentes importantes em equipamentos importantes, como máquinas de gravação, máquinas de litografia, máquinas de implantação iônica, etc. Por exemplo, ventosas de retificação e polimento, ventosas de fotolitografia, ventosas de inspeção, processos de gravação e plataformas de movimento, todos têm o presença de cerâmica de carboneto de silício. Esses componentes cerâmicos de carboneto de silício têm boa estabilidade estrutural, estabilidade térmica, resistência ao desgaste, resistência à corrosão e alta precisão dimensional. O pó de carboneto de silício, como principal matéria-prima para a produção de cerâmica de carboneto de silício, também deve ter propriedades boas e estáveis. Entre eles, o pó preto de SiC 800# para ventosas de cerâmica porosa de carboneto de silício é uma aplicação típica.
Com a produção refinada do pó de SiC, as propriedades físicas e químicas e a estabilidade do tamanho das partículas fizeram progressos significativos. O pó preto fino de SiC refinado a partir de triagem, lavagem ácida alcalina e lavagem com água é mais adequado para os requisitos de campos de alta tecnologia, como semicondutores. As características específicas são as seguintes:
1. Estabilidade de alta temperatura.
O pó preto de SiC possui ponto de fusão muito alto e estabilidade térmica, permitindo que cerâmicas porosas mantenham bom desempenho em ambientes de alta temperatura.
2. Alta pureza.
Após tratamento químico e lavagem com água, o pó preto de carboneto de silício tem baixo conteúdo magnético, baixo teor de carbono livre e boa fluidez e fácil dispersão.
3. Alta concentração de tamanho de partícula.
Alta consistência no tamanho das partículas, faixa estreita de partículas de pó e alta densidade de empacotamento. Pode melhorar a densidade da cerâmica de carboneto de silício.
4. Excelentes propriedades mecânicas.
Black SiC possui alta dureza, resistência e excelente resistência à compressão. Pode aumentar a resistência mecânica e a resistência ao desgaste de cerâmicas porosas.
5. Forte estabilidade química.
O carboneto de silício preto tem boa resistência à corrosão de ácidos, bases e a maioria das substâncias químicas. Isso pode melhorar a estabilidade química e a resistência à corrosão de cerâmicas porosas.
6. Boa condutividade térmica.
Devido à alta condutividade térmica do carboneto de silício preto, a cerâmica porosa pode transferir e dispersar o calor de maneira mais eficaz.
7. Baixo coeficiente de expansão térmica.
O carboneto de silício preto tem um coeficiente de expansão térmica mais baixo. Ajuda a reduzir o estresse térmico e os danos às cerâmicas porosas sob as mudanças de temperatura.
8. Maior resistência à oxidação.
O Black SiC pode melhorar a resistência à oxidação de cerâmicas porosas e prolongar sua vida útil.
Em resumo, o uso de carboneto de silício preto como aditivo ou material de base para cerâmicas porosas pode melhorar significativamente sua estabilidade em altas temperaturas, propriedades mecânicas, estabilidade química e várias outras propriedades. Essas vantagens tornam-no mais amplamente aplicável em ambientes de alta temperatura, alta pressão e altamente corrosivos, especialmente na indústria de equipamentos semicondutores.
